EUV 펠리클/마스크 사용에 필수적인 장비(이솔(에프에스티 자회사), 레이저텍, 파크시스템스)

한국 EUV 석학의 견해 "중국 EUV 장비 개발?10~15년 내 불가능"

토종 EUV 장비사 이솔 국내 첫 반도체 장비 유니콘 될까

EUV 대장주 에스앤에스텍 EUV 펠리클과 블랭크마스크 언제 상용화?

영국 에드워드가 독점한 EUV ‘진공펌프’ 시장에 도전장 낸 전통의 강자 ‘부쉬’